Octafluorcyclobutan
Strukturformel | |||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Allgemeines | |||||||
Name | Octafluorocyclobutan (INN) | ||||||
Andere Namen |
| ||||||
Summenformel | C4F8 | ||||||
CAS-Nummer | 115-25-3 | ||||||
PubChem | 8263 | ||||||
Kurzbeschreibung |
farbloses Gas mit etherischem Geruch[1] | ||||||
Eigenschaften | |||||||
Molare Masse | 200 g·mol−1 | ||||||
Aggregatzustand |
gasförmig | ||||||
Dichte | |||||||
Schmelzpunkt | |||||||
Siedepunkt |
−6,4 °C[1] | ||||||
Dampfdruck | |||||||
Löslichkeit |
sehr schlecht in Wasser (140 mg·l−1)[1] | ||||||
Sicherheitshinweise | |||||||
| |||||||
GWP |
10300 (bezogen auf 100 Jahre) [3] | ||||||
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen. |
Octafluorcyclobutan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der organischen Fluorverbindungen.
Herstellung
Durch volle Fluorierung von Cyclobutan mit elementarem Fluor über radikalische Substitution (für genaueres siehe Trichlormethan) lässt sich dieses Gas herstellen:
- $ \mathrm {C_{4}H_{8}+8\ F_{2}\longrightarrow \ C_{4}F_{8}+8\ HF} $
Eigenschaften
Octafluorcyclobutan ist ein farbloses nicht brennbares Gas mit etherischem Geruch, welches geringfügig löslich in Wasser ist. Industriell wird es in Form von Druckgasflaschen geliefert, in denen es in verflüssigter Form vorliegt. Beim Ausströmen der Flüssigkeit oder beim Entweichen großer Gasmengen bilden sich kalte Nebel, die sich am Boden ausbreiten. Bei hohen Konzentrationen besteht Erstickungsgefahr. Seine kritische Temperatur liegt bei 115,32 °C, der kritischer Druck bei 27,8 bar, die kritische Dichte bei 0,62 kg/l, die Tripelpunkt-Temperatur bei -40,2 °C und der Tripelpunkt-Druck bei 0,191 bar.[2]
Verwendung
Octafluorcyclobutan wird in der Halbleitertechnik als Ätz- und Passivierungsgas verwendet (vgl. Reaktives Ionentiefenätzen).
Einzelnachweise
- ↑ 1,0 1,1 1,2 1,3 1,4 1,5 Praxair: Sicherheitsdatenblatt Octafluorcyclobutan.
- ↑ 2,0 2,1 2,2 2,3 Eintrag zu CAS-Nr. 115-25-3 in der GESTIS-Stoffdatenbank des IFA, abgerufen am 29. Mai 2011 (JavaScript erforderlich).
- ↑ P. Forster, P., V. Ramaswamy et al.: Changes in Atmospheric Constituents and in Radiative Forcing. In: Climate Change 2007: The Physical Science Basis. Contribution of Working Group I to the Fourth Assessment Report of the Intergovernmental Panel on Climate Change. Cambridge University Press, Cambridge und New York 2007, S. 213, (PDF).