| Strukturformel | |||||||||||||||||||
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| Allgemeines | |||||||||||||||||||
| Name | Tetrakis(dimethylamino)titan | ||||||||||||||||||
| Andere Namen |
TDMAT | ||||||||||||||||||
| Summenformel | C8H24N4Ti | ||||||||||||||||||
| CAS-Nummer | 3275-24-9 | ||||||||||||||||||
| PubChem | 123185 | ||||||||||||||||||
| Kurzbeschreibung | |||||||||||||||||||
| Eigenschaften | |||||||||||||||||||
| Molare Masse | 224,17 g·mol−1 | ||||||||||||||||||
| Aggregatzustand |
flüssig | ||||||||||||||||||
| Dichte |
0,96 g·cm−3 (bei 20 °C)[1] | ||||||||||||||||||
| Schmelzpunkt | |||||||||||||||||||
| Siedepunkt | |||||||||||||||||||
| Dampfdruck | |||||||||||||||||||
| Löslichkeit |
reagiert mit Wasser[1] | ||||||||||||||||||
| Sicherheitshinweise | |||||||||||||||||||
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| Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen. | |||||||||||||||||||
Tetrakis(dimethylamino)titan (TDMAT) ist eine chemische Verbindung, die z. B. bei der Halbleiterherstellung mit der metallorganischen chemische Gasphasenabscheidung (englisch metal organic chemical vapour deposition, MOCVD) eingesetzt wird. Formal ist es das Tetrakis(dimethylamid) der Orthotitansäure. Es lässt sich durch Umsetzung von Titan(IV)-chlorid mit Lithiumdimethylamid herstellen.[5]
Eigenschaften und Sicherheitshinweise
Die brennbare Substanz besitzt einen fischartigen Geruch[2] und ist wegen des niedrigen Flammpunktes (je nach Quelle zwischen −30 °C[3] und 87 °C[2]) leicht entzündlich. Mit Wasser – schon aus der Luft – zersetzt sich TDMAT unter heftiger Reaktion.[1]
Beim Einatmen der Substanz wirkt diese extrem schädigend auf Atemwege, beim Kontakt mit Haut und Augen ätzend. Daneben können Symptome wie Husten, Atemnot, Kopfschmerzen, Übelkeit und Erbrechen auftreten.[3][6]
Verwendung
TDMAT wird in der Methode der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) als gasförmiges Edukt eingesetzt. Während der Reaktion bildet sich auf einem Substrat der gewünschte, extrem harte Überzug aus Titannitrid (TiN). Der Vorteil gegenüber anderen Edukten wie Titan(IV)-chlorid (TiCl4) liegt in der Möglichkeit, die Reaktionstemperatur auf ≈ 450 °C zu reduzieren, während bei TiCl4 Temperaturen > 900 °C benötigt werden.[7]
Einzelnachweise
- ↑ 1,0 1,1 1,2 1,3 1,4 1,5 Datenblatt Tetrakis(dimethylamino)titan bei AlfaAesar, abgerufen am 14. März 2010 (JavaScript erforderlich).
- ↑ 2,0 2,1 2,2 2,3 gelest.com: Sicherheitsdatenblatt (MSDS)
- ↑ 3,0 3,1 3,2 3,3 3,4 Datenblatt Tetrakis(dimethylamido)titanium(IV) bei Sigma-Aldrich, abgerufen am 24. April 2011.
- ↑ Seit 1. Dezember 2012 ist für Stoffe ausschließlich die GHS-Gefahrstoffkennzeichnung zulässig. Bis zum 1. Juni 2015 dürfen noch die R-Sätze dieses Stoffes für die Einstufung von Zubereitungen herangezogen werden, anschließend ist die EU-Gefahrstoffkennzeichnung von rein historischem Interesse.
- ↑ Patent EP0476671: Homogeneous catalysts and olefin polymerization process. Veröffentlicht am 25. März 1992, Erfinder: J. G. Hefner, B. W. Kolthammer, D. R. Gifford.
- ↑ Sicherheitsdatenblatt (MSDS). Praxair (PDF, englisch).
- ↑ M. Meyyappan, D. J. Economou, S. Watts Butler: Proceedings of the Symposium Om Process Control, Diagnostics, and Modeling in Semiconductor Manufacturing. The Electrochemical Society, 1995, ISBN 978-1-56677-096-5, S. 399ff.