Dichlorsilan

Strukturformel
Allgemeines
Name	Dichlorsilan
Andere Namen	DCS
Summenformel	H2Cl2Si
CAS-Nummer	4109-96-0
PubChem	61330
Kurzbeschreibung	hochentzündliches, farbloses Gas mit stechendem Geruch[1]
Eigenschaften
Molare Masse	101,01 g·mol−1
Aggregatzustand	gasförmig[1]
Dichte	1,261 g·l−1 (Dichte am Siedepunkt)[1] 4,34 kg·m−3 (gasförmig bei 15 °C, 1,013 bar)[2]
Schmelzpunkt	−122,0 °C[1]
Siedepunkt	8,4 °C[1]
Dampfdruck	1,666 bar (20 °C)[1]
Löslichkeit	Hydrolyse in Wasser[1]
Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung [1] Gefahr H- und P-Sätze H: 330-220-314-280 EUH: 071 P: 260-​280-​210-​304+340-​303+361+353-​305+351+338-​315-​377-​381-​405-​403Vorlage:P-Sätze/Wartung/mehr als 5 Sätze [1] EU-Gefahrstoffkennzeichnung [3][1] Hoch- entzündlich Giftig Ätzend (F+) (T) (C) R- und S-Sätze R: 12-23-34 S: 9-16-26-33-36/37/39-45
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen.

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Dichlorsilan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der chlorierten Silane.

Gewinnung und Darstellung

Dichlorsilan kann durch Disproportionierung von Trichlorsilan an geeigneten Katalysatoren gewonnen werden.^[4]

Eigenschaften

Dichlorsilan ist ein hochentzündliches, ätzendes, unter Druck verflüssigtes Gas. Es bildet bei Kontakt mit feuchter Luft einen Chlorwasserstoffnebel. In Wasser hydrolysiert es zu Chlorwasserstoff und einer Mischung von polymeren Siloxanen. Ab einer Temperatur von 55 °C zersetzt sich die Verbindung, wobei Chlorwasserstoff und in geringen Mengen auch Wasserstoff und Chlor entstehen. Es besteht die Gefahr der Selbstentzündung. Es ist empfindlich gegenüber Sauerstoff und UV-Licht. Die Verbindung besitzt eine kritische Temperatur von 176,3 °C, einen kritischer Druck von 43,78 bar, eine kritische Dichte von 0,479 kg/l und eine Tripelpunkttemperatur von −122° C (Schmelztemperatur).^[1] Die Verdampfungswärme beträgt 249 kJ/kg.^[5]

Verwendung

Dichlorsilan wird in der Halbleiterproduktion bei der chemische Gasphasenabscheidung bzw. Epitaxie auch im Gemisch mit Ammoniak bei der Herstellung von Siliciumnitrid oder Siliciumdioxid verwendet.^[2]

Sicherheitshinweise

Die Dämpfe von Dichlorsilan können mit Luft ein explosionsfähiges Gemisch (Flammpunkt −28 °C, Zündtemperatur 185 °C) bilden.

Weblinks

• IR-Spektrum von Dichlorsilan (Ansynco)

Einzelnachweise