Dichlorsilan

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Strukturformel
Strukturformel von Dichlorsilan
Allgemeines
Name Dichlorsilan
Andere Namen

DCS

Summenformel H2Cl2Si
CAS-Nummer 4109-96-0
PubChem 61330
Kurzbeschreibung

hochentzündliches, farbloses Gas mit stechendem Geruch[1]

Eigenschaften
Molare Masse 101,01 g·mol−1
Aggregatzustand

gasförmig[1]

Dichte
  • 1,261 g·l−1 (Dichte am Siedepunkt)[1]
  • 4,34 kg·m−3 (gasförmig bei 15 °C, 1,013 bar)[2]
Schmelzpunkt

−122,0 °C[1]

Siedepunkt

8,4 °C[1]

Dampfdruck

1,666 bar (20 °C)[1]

Löslichkeit

Hydrolyse in Wasser[1]

Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung [1]
02 – Leicht-/Hochentzündlich 04 – Gasflasche 05 – Ätzend 06 – Giftig oder sehr giftig

Gefahr

H- und P-Sätze H: 330-220-314-280
EUH: 071
P: 260-​280-​210-​304+340-​303+361+353-​305+351+338-​315-​377-​381-​405-​403Vorlage:P-Sätze/Wartung/mehr als 5 Sätze [1]
EU-Gefahrstoffkennzeichnung [3][1]
Hochentzündlich Giftig Ätzend
Hoch-
entzündlich
Giftig Ätzend
(F+) (T) (C)
R- und S-Sätze R: 12-23-34
S: 9-16-26-33-36/37/39-45
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen.
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Dichlorsilan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der chlorierten Silane.

Gewinnung und Darstellung

Dichlorsilan kann durch Disproportionierung von Trichlorsilan an geeigneten Katalysatoren gewonnen werden.[4]

Eigenschaften

Dichlorsilan ist ein hochentzündliches, ätzendes, unter Druck verflüssigtes Gas. Es bildet bei Kontakt mit feuchter Luft einen Chlorwasserstoffnebel. In Wasser hydrolysiert es zu Chlorwasserstoff und einer Mischung von polymeren Siloxanen. Ab einer Temperatur von 55 °C zersetzt sich die Verbindung, wobei Chlorwasserstoff und in geringen Mengen auch Wasserstoff und Chlor entstehen. Es besteht die Gefahr der Selbstentzündung. Es ist empfindlich gegenüber Sauerstoff und UV-Licht. Die Verbindung besitzt eine kritische Temperatur von 176,3 °C, einen kritischer Druck von 43,78 bar, eine kritische Dichte von 0,479 kg/l und eine Tripelpunkttemperatur von −122° C (Schmelztemperatur).[1] Die Verdampfungswärme beträgt 249 kJ/kg.[5]

Verwendung

Dichlorsilan wird in der Halbleiterproduktion bei der chemische Gasphasenabscheidung bzw. Epitaxie auch im Gemisch mit Ammoniak bei der Herstellung von Siliciumnitrid oder Siliciumdioxid verwendet.[2]

Sicherheitshinweise

Die Dämpfe von Dichlorsilan können mit Luft ein explosionsfähiges Gemisch (Flammpunkt −28 °C, Zündtemperatur 185 °C) bilden.

Weblinks

Einzelnachweise

  1. 1,00 1,01 1,02 1,03 1,04 1,05 1,06 1,07 1,08 1,09 1,10 Eintrag zu CAS-Nr. 4109-96-0 in der GESTIS-Stoffdatenbank des IFA, abgerufen am 2. Januar 2010 (JavaScript erforderlich)
  2. 2,0 2,1 Airliquide: Dichlorsilan N30
  3. Seit 1. Dezember 2012 ist für Stoffe ausschließlich die GHS-Gefahrstoffkennzeichnung zulässig. Bis zum 1. Juni 2015 dürfen noch die R-Sätze dieses Stoffes für die Einstufung von Zubereitungen herangezogen werden, anschließend ist die EU-Gefahrstoffkennzeichnung von rein historischem Interesse.
  4. Freepatentsonline: Method for preparation of dichlorosilane
  5. Datenblatt (Messer Schweiz AG)

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