NanoSIMS ist ein Massenspektrometer, genauer ein Sekundärionenmassenspektrometer (SIMS) mit einer modifizierten Ionenoptik, welche es ermöglicht, eine bessere räumliche Auflösung als mit herkömmlichen SIMS zu erreichen.
Während mit SIMS eine Auflösung im Mikrometerbereich erreicht wird, ist es mit NanoSIMS möglich, ein dreidimensionales Bild der Element- und Isotopenzusammensetzungen einer Probe mit einer räumlichen Auflösung kleiner als 50 Nanometer zu erhalten. Neben der hohen räumlichen Auflösung zeichnet sich das NanoSIMS durch ein magnetisches Massenspektrometer aus, das gleichzeitig hohe Transmission und hohe Massenauflösung erlaubt. Dadurch können beispielsweise in biologischen Proben die Isotopenkombinationen 12C15N und 13C14N unterschieden werden, und man kann beispielsweise die Nahrungsaufnahme bzw. biologische Aktivität und den Einbauort in der Zelle messen. In der Materialforschung, Kosmologie und Geologie wird NanoSIMS zur hochaufgelösten Messung von Spurenelementen, zur Altersbestimmung und Herkunftsnachweis anhand von Isotopenzusammensetzungen eingesetzt.
Es handelt sich hierbei um eine Produktbezeichnung der Firma Cameca/Frankreich und nicht um einen wissenschaftlich-technischen Grundbegriff.
