Hexafluorethan

Strukturformel
Allgemeines
Name	Hexafluorethan
Andere Namen	R 116 Freon 116 Perfluorethan FC-116
Summenformel	C2F6
CAS-Nummer	76-16-4
PubChem	6431
Kurzbeschreibung	farbloses geruchloses Gas[1]
Eigenschaften
Molare Masse	138,01 g·mol−1
Aggregatzustand	gasförmig
Dichte	6,25 kg·m−3 (unter Normalbedingungen)[1]
Schmelzpunkt	−101 °C[1]
Siedepunkt	−78,2 °C[1]
Löslichkeit	geringfügig löslich in Wasser[1]
Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung [1] Achtung H- und P-Sätze H: 280 P: 403 [1]
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen.

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Hexafluorethan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der Fluorkohlenwasserstoffe und ist als aliphatisches gesättigtes Fluorkohlenwasserstoff ein Perfluorcarbon.

Eigenschaften

In Druckgasflaschen liegt Hexafluorethan als verdichtetes Gas vor. Unter 19,7 °C unter Druck ist es ein verflüssigt vorliegendes Gas. Beim Ausströmen der Flüssigkeit oder beim Entweichen großer Gasmengen bilden sich kalte Nebel, die sich am Boden ausbreiten. Oberhalb von 800 °C zersetzt sich die Verbindung, wobei Fluorwasserstoff, Kohlenstoffmonoxid und Kohlenstoffdioxid entstehen. Der kritische Punkt liegt bei 19,89 °C, 30,39 bar und 0,601 kg·l⁻¹; der Tripelpunkt bei -100,10 °C und 0,26490 bar.^[2]

Hexafluorethan besitzt ein Treibhauspotenzial von 9200 und ein Ozonabbaupotential von 0.^[1]

Verwendung

Hexafluorethan wird in der Halbleiter-Industrie als Ätzgas und beim Plasmaätzen, sowie zum Reinigen von CVD-Kammern eingesetzt.^[3] Es dient weiterhin als Treibgas, gasförmiger Isolierstoff (in aufgeschäumten Stoffen) und als Kältemittel.^[4]

Sicherheitshinweise

Hexafluorethan ist schwerer als Luft und in hohen Konzentrationen erstickend.

Einzelnachweise