Die Röntgendiffraktometrie mit streifendem Einfall (englisch grazing incidence X-ray diffraction, GIXRD, manchmal auch nur GID für grazing incidence diffraction) ist ein spezielles Messverfahren der Röntgendiffraktometrie, die auf der Röntgenbeugung basiert.
Beschreibung
Es zeichnet sich durch einen besonders flachen Einfallswinkel der Röntgenstrahlung auf die Probe aus (α < 3°; gesehen von der Oberfläche der Probe). Ziel ist es, auf diese Weise nur ein möglichst kleines Volumen der Probe zu untersuchen, um Messdaten über Dünnschichten ohne großen Untergrund zu erhalten. Beim herkömmlichen Theta/2-Theta-Verfahren erhält man wegen der Eindringtiefe der Röntgenstrahlung Informationen von bis zu einem Millimeter der Probe, also zum großen Teil die Eigenschaften des darunterliegenden Substrats. Durch den sehr flachen Einfallswinkel der Röntgenstrahlung bei GIXRD verringert sich das von der Röntgenstrahlung erfasste Schichtvolumen. Die evaneszente Welle dringt nur schwach in das Material ein. Für noch kleinere Winkel (0–0,6 Grad) lässt sich sogar die Oberfläche der Dünnschicht untersuchen.
Literatur
Mario Birkholz, Paul F. Fewster, Christoph Genzel: Thin film analysis by X-ray scattering. Wiley-VCH, 2006, ISBN 3527310525, S. 148ff (eingeschränkte Vorschau in der Google Buchsuche).
