Neutron Transmutation Doping
Neutron Transmutation Doping (NTD, ins deutsche übersetzt etwa: Neutroneninduzierte Umwandlungsdotierung) ist ein Verfahren, um in Silizium höchst homogene Phosphordotierungen zu erreichen. Dazu wird das Silizium mit thermischen Neutronen beschossen. Es ergibt sich folgende Kernreaktion:
Das stabile Isotop
Literatur
- Rolf Sauer: Halbleiterphysik: Lehrbuch für Physiker und Ingenieure. Oldenbourg, 2009, ISBN 348658863X.